主要产品

部門 : CVD

Electrodeless UV Bulb / 无电极UV灯泡

RF SCREEN / RF屏幕

MILTEC UV在UV CURING SYSTEM 領域中為領導廠商, 其所生產的Electrode-less UV Bulb 及 RF SCREEN 已被半導體設備大廠Applied Material , Inc. 及 Novellus System 認證採用

Magnetron / 磁控

部門 : CVD

MC3A Controller Repair / MC3A控制器维修

用途: 使用在Novellus System Tool,功能與小型電腦相同,裡面含有硬碟.電路板.記憶體等零件,將其硬碟灌入應用軟體,執行使用者發出之訊息。

Controller Baldor, Mini 25 M, V1.06

部門 : CMP

DNS PVA 刷 / EBARA PVA 刷

Bevel 刷 / TEL 刷

材料: PVA (聚乙烯醇)

英文名稱：polyvinyl alcohol，vinyl alcohol polymer，簡稱PVA

特性：是以聚乙烯醇為原料採用發泡技術所合成的多氣孔體。分子內有OH基，親水性優，能快速吸取板面水珠，不會刮傷表面。其氣孔徑及氣孔率可因需求而做調整。使用前先浸泡水中， 讓液體均衡滲入海綿內(保濕)。PVA具有柔水性和連續氣孔的構造所以它具有超群的吸水性及保水性; 對於玻璃/半導體的生產線可以提供最有效應的清洗功能。

用途：在半導體後段CMP洗拭、晶圓(晶側、晶背、晶面)洗拭，可有效除去微小塵粒及水珠。

部門 : CVD

O-ring / O型圈

適用於任何需要密封環境

Gasket (by Gore ePTFE) / 垫片 (Gore ePTFE 材料)

Gore-Tex :

美商Gore(戈爾)公司為所生產PTFE(聚四氟乙烯)應用性產品, 廣泛的應用在航太、電子、化學、食品、民生、半導體 

ePTFE® (Expanded PTFE):

特色

l   100% 膨體四氟乙烯 (汙染物極少)

l   抗化學性極佳(PH值0~14)皆無問題

l   耐高溫及低溫極佳(-268°C~315°C)

l   易於貼合及安裝

l   尺寸不易因外力變化

l   密封能力極佳

l   安裝成本低

l   壽命較長

部門 :

大电流，高电压，高真空电引入

靶材背面磁鐵組件維修

真空可調陶瓷電容器

3000-W/2000-W晶圆加热器